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晶圓烘箱的結構組成與用途
晶圓烘箱的結構組成與用途

晶圓烘箱是半導體制造中用于晶圓熱處理的關鍵設備,其核心功能是通過準確控溫實現光刻膠固化、干燥及防氧化處理,直接影響半導體器件的良品率與性能。結構組成與功能模塊:1、加熱系統:采用不銹鋼無塵加熱器,通過PID智能演算實現自動恒溫,溫度波動度控制在±0.5℃以內。2、氣體控制系統:支持氮氣氣氛控制,氧含量可低至3、傳輸與潔凈系統:工作室內百級潔凈度,配備耐高溫高效過濾器,過濾率達0.3μ...

2025-07-03
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  • 高低溫沖擊試驗箱的冷凍油更換方法

    高低溫沖擊試驗箱是金屬、塑料、橡膠、電子等材料行業的測試設備,用于測試材料結構或復合材料,在瞬間下經高溫及極低溫的連續環境下忍受的程度,得以在短時間內檢測試樣因熱脹冷縮所引起的化學變化或物理傷害。高低溫沖擊試驗箱滿足的試驗方法:GB/T2423.1.2、GB/T10592-2008、GJB150.3高低溫沖擊試驗。在高低溫沖擊試驗箱中,如果壓縮機是半封閉活塞壓縮機在運行500小時內,需要觀察冷凍油的油溫和油壓變化,如果冷凍油變色了就必須更換。壓縮機組初次運行2000小時之后,...

    20239-19
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  • 高低溫試驗箱故障的基本排除方法

    一、高低溫試驗設備.在高溫試驗中,如溫度變化達不到試驗溫度值時,可以檢查電器系統,逐一排除故障。如溫度升得很慢,就要查看風循環系統,看一下風循環的調節擋板是否開啟正常,反之,就檢查風循環的電機運轉是否正常。如溫度過沖厲害那么就需要整定PID的設置參數。如果溫度直接上升,過溫保護,那么,控制器出故障,須更換控制儀表。二、.高低溫試驗設備在試驗運行過程中突然出現故障時,控制儀表上出現對應的故障顯示提示并有聲訊報警提示。操作人員可以對照設備的操作使用中的故障排除一章中快速檢查出屬于...

    20239-19
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  • 高低溫試驗箱,高低溫交變試驗箱的日常維護

    1.高低溫試驗箱一般都比較高,我們建議將其置于比較良性溫度環境中,我們的經驗溫度值為8℃~23℃,對不具備此條件的實驗室,須配備適當的空調器或冷卻塔.2.必須堅持專人專業管理,有條件的單位應不定期派專人到供方工廠培訓學習.以獲得較專業的維護、維修的經驗和能力.愛義信工業科技3.固定每3個月清洗一次冷凝器:對于壓縮機采用風冷冷卻的,應定期檢修冷凝風機并對冷凝器進行去污除塵以保證其良好的通風換熱性能;對于壓縮機采用水冷冷卻的,除須保證其進水壓力與進水溫度外,還必須保證相應流量.并...

    20239-19
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